“表面高低差达到纳米级,也就是头发丝直径的十万分之一。”在江苏山水半导体科技有限公司,副总经理张滔指着大硅片产品跟记者比画,达到如此平整度,就是用上了他们公司研发生产的核心关键材料:抛光液。更了不起的是,他们自主研发并具有完全自主知识产权的产品,实现国产替代仅用了短短半年时间。
集成电路产业的化学机械平坦化工艺,是我国正在攻克的产业链关键核心技术之一。一群来自不同行业的创业者,为打破国外垄断走到了一起,为保障集成电路产业链与供应链安全提供有力支撑。
怀揣梦想,一群人的新征程
2020年,在宜兴从事房地产行业的井锋,谋求转型发展,寻找新的投资方向。与此同时,第十四批江苏省科技镇长团团员、河北工业大学副研究员王辰伟,被派驻到宜兴经开区挂职担任科技局副局长,也迫切地想将团队的科研技术转化为创新创业成果。一次偶然的机会,井锋和王辰伟,和从事半导体销售的张俊华,坐在一起聊起抛光液项目。当时,集成电路产业正是国内关注的热点,抛光液虽然只是集成电路制造中一个很小的环节,但在保障集成电路产业链与供应链安全上很关键,如能做成,市场前景大。
打破国外垄断,实现国产替代!怀揣着这样的梦想,3人一拍即合,开启自主创新征程。多次市场调研后,一家初创半导体公司宣告成立。面向国家重大战略需求,山水半导体目标明确,围绕集成电路材料产业发展布局,致力于成为国际领先的大尺寸硅片及先进集成电路制程抛光液研发、生产、销售企业。
资本、技术、销售要素齐全,山水半导体一经成立,便有了成熟的管理团队。之后,更是吸引了硅片生产企业、多位科研人员加盟,整个团队进一步优化。“都有这个心,要把这件事情做好。”井锋说。志同道合的伙伴、硬核的科研团队,推动山水半导体快速成长。项目初始投资2亿元,2020年10月公司成立,2021年10月实质性启动,2022年4月便开始试生产。
仅用半年,实现从“0”到“1”
河北工业大学是国内最早专注于化学机械平坦化研究的高校,而王辰伟正是这一领域的领军技术人才之一。见证了宜兴集成电路产业的崛起以及当地人才环境的日益优化,王辰伟坚定了扎根宜兴的信心和决心。在他带领下的科研团队成绩斐然,截至目前,已申请专利二十一项,其中授权发明专利八项。
从实验室成果到应用,“0”到“1”的跨越,这一步并不容易。井锋坦言,投身科创产业,与他之前的想象完全不一样,最大的难点是,需要持续投入搞研发。抛光液虽然是配方产品,但是有了配方并不能解决一切问题。每个企业、每个产品不仅对应的配方不同,还需保证产品的一致性、可控性,万分之一的差错都不容许。
宜兴集成电路产业的发展壮大为企业验证提供了最佳平台。紧挨着中环领先半导体科技股份有限公司这一大客户,是他们快速取得成功的一个重要原因。中环领先目前已成长为营收规模国内第一、全球前六的半导体硅片制造商,从原材料供应安全角度出发,他们也迫切需要国产替代材料。“5分钟就可到一线企业验证。”张滔介绍,中环领先专门空出机器,企业上午配好液,下午就可上线验证,这是山水半导体无可比拟的优势。
每天不断提升改进,力求拿出最好的验证效果,他们仅用半年时间就完全达到客户的要求。目前,用于初抛、边抛、中抛、精抛的抛光液产品均已研发成功,实现大硅片制造用抛光液产品全覆盖,企业仅用两年多时间就进入国内同行业第一方阵。
大赛拿奖,受到业内关注
作为一家初创期科技型企业,山水半导体真正被业内熟知,是参加的两次大赛——第十二届全国创新创业大赛获优秀奖,江苏省第十一届创新创业大赛获三等奖。“路演结束,就有多家基金公司与我联系。”回忆起全国创新创业大赛决赛的情景,张滔依然很兴奋。通过比赛,企业吸引了一批人才加盟,还得到基金公司的关注,这让他们更坚定了加速实现由“1”到“10”、由“10”到“100”的信心。
去年,山水半导体进行A轮融资,吸引了3家基金公司注资1700万元,今年即将进行B轮融资,注资将达到3000万元。值得一提的是,公司估值已翻了一倍多。截至目前,企业成功引进海归博士2人、教授5人、副教授4人,公司研发人员占比超过三分之一,推动建立宜兴集成电路产业人才培养基地,为宜兴集成电路产业链的发展提供人才支撑和技术服务。王辰伟也成为无锡市第四批“人才特派员”。
目前,山水半导体自主研发的粗抛液、边抛液,已在全国硅片出片量排名前二十二的大厂商中实现送样、验证十六家,其中对六家硅片生产企业已实现批量供应,特别是对头部企业中环领先、西安奕斯伟实现量产供应,抢占了市场制高点。目前,公司正计划进军集成电路先进制程第二、第三代半导体领域。同时,在延长产业链、打造原料供应安全渠道及布局海外市场等方向进行规划部署,力争早日成为国内领先、国际先进的集成电路电子专用材料研制生产龙头企业。
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